等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭、有機廢氣，設備占地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭、有機廢氣分子作用；運行費用低；反應快、停止十分迅速，隨用隨開。但一次性投資費用較高。

低溫等離子體凈化工業廢氣的工作原理

等離子體中能量的傳遞大致如下：

介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，轉化為CO₂和H₂O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

從以上反應過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到污染物分子中去，那些獲得能量的污染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然后這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

目前除臭技術中的臭氧氧化法由于氧化勢能較低，對復雜的廢氣基本不起作用，同時臭氧只有氧化作用，對分子結構不能產生破壞性的作用，而等離子體幾乎能將所有廢氣成分從分子結構上直接破壞，裂解，氧化及相互反應，形成穩定的分子，如CO₂和H₂O等。特種光量子技術是近幾年較常見的技術之一，原理是利用惡臭物質對光子的吸收而發生分解，同時反應過程產生的微量的羥基自由基、活性氧等基團也能參與氧化反應，從而達到降解惡臭物質的目的，對于臭氣濃度比較高，成分復雜，不能吸收光子的物質幾乎沒有效果，然而等離子體對廢氣成分沒有選擇性，而且能量極高，幾乎所有的污染物分子都能從分子結構上被破壞，從而得到凈化。另外一種常見的除臭技術是催化氧化，原理是在一定溫度和壓力條件下，利用催化劑加快強氧化劑對污染物分子的氧化，從而達到除臭目的，這種方法適用于較為干凈（無顆粒物，顆粒物存在會附著在催化劑表面使催化劑中毒而失效）和分子結構較為簡單的污染物的凈化。

低溫等離子體技術特點

1)介質阻擋放電產生的低溫等離子體中，粒子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

2)能量高，反應快。

3)采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。

4)只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。

5)設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開。

6)氣阻小，工藝成熟。

7)同樣適用于含塵氣體。

8)適用溫度范圍廣。

9)適用氣量范圍廣，單臺設備可達到80000m3/h的處理量。